AIO 3200은 웨이퍼의 메모리 장치에서 테스트하는 웨이퍼 테스트 시스템입니다.이 시스템은 웨이퍼 핸들링에 프로브 스테이션을 사용하고 인터페이스에는 프로브 카드를 사용합니다.따라서이 시스템은 DC 및 AC 테스트 기능을 오픈, 쇼트, 파워 서플라이 전류 및 DC 바이어스 핀 측정, 사용 가능한 웨이퍼 테스트를 쉽게 제공할 수 있습니다

특점

• 1 감독/시스템
• 40MHz 속도를 측정하다
• 224 병렬 테스트
• 주사당 TG
• FM/RA 가능
• TR 가능한 측정 함수
• ZIF I/F 부터 탐지 카드까지
• 인터페이스 테스트 : PCI
• 사용 가능한 몰드 손상 방지
• 압력과대/압력부족검사를 할수 있다
• 과전류 검사
• 결함 금형 격리
• LINUX기반의 사용자 소프트웨어

시스템 규격

• 드라이브: 5152 채널/시스템
• 고압 드라이브:채널/시스템 896
• 전력 공급 : 448 채널/시스템
• 타이밍 세트 : 32세트
• 사용자 주기:16주기
• 더블 펄스
• 24X,24Y 위치
• 패턴 깊이:2048 줄
• UBM:핀당 16 킬로비트가 RA에 사용된다
• DBM:DUT 당 64 메가바이트